Ulvac ei-5K
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PVD

类型

2010年

年份

4

晶片尺寸

基本信息

  • 型号:ei-5K
  • 类型:PVD
  • 年份:2010年
  • 晶片尺寸:4
  • 设备数量:1
  • 销售状态:已出售

设备描述

- Accelerating V: -4 to -10kVDC- emission current: 1A max(at -10kV)- MAXIMUM POWER INPUT: 10kW- Deposition rate: 1.6um/min or more- out side dimensions: 170x221x260- Weight: 22kg- Applicable power supply: HPS-1000S, HPS-1600

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